扫描电子显微镜:原理与应用
2023-11-29
扫描电子显微镜的原理 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope,SEM)是一种高分辨率的显微镜,它利用电子束与样品的相互作用来获取样品的表面形貌和成分信息。SEM的原理是通过加速电子到高速,然后将电子束聚焦到极小的直径,使其成为一束非常细小的电子束,然后将其扫描到样品表面,通过探测器来获取电子与样品相互作用所产生的信号,从而得到样品表面的形貌和成分信息。 扫描电子显微镜的构成 SEM主要由电子枪、聚焦系统、扫描系统、探测器和图像处理系统等部分组成。其中,电子枪是